HOME > 냉동공조기술광장 > 공기조화
 
       
050  ICR(industrial clean room)이란? 관리자 05-10-20
 

제목 없음

(1) ICR은 공업용 클린룸(industrial clean room)을 뜻하며, 반도체 공장, 전자공장 등에서의 공조(空調)가 여기에 해당하며, 반도체 산업의 발전과 더불어 클린룸 기술도 비약적으로 발전하고 있다.

(2) 이들 공장에서는 미세한 부유 미립자가 제품에 부착하여도 불량의 소지가 있기 때문에, 실내의 부유미립자를 매우 낮은 농도로 유지하여야 한다.

(3) 최근들어 반도체 칩(chip)의 집적도(集積度)가 점점 높아짐에 따라 회로선폭(bit stream)이 보다 미세해져 → 보다 미소 입자(粒子)를 보다 저농도로 콘트롤(control)할 수 있는 고도의 클린룸 기술이 요구되고 있다.

(4) 그러므로 이러한 공장에서는 공장 전체 또는 중요작업 부분을→ 고청정 상태도 유지할 필요가 있는데, 이러한 것을 ICR이라 한다.

(5) 청정도는 일반적으로 class 100, class 1000 등으로 나타내는데, 이는 대상 입경(粒経) 0.5㎛ 이상의 미립자가 ft3당 몇 개 들어 있는가를 말하는 것이며, 대상 입경을 최근에 와서는 0.3㎛, 0.1㎛ 까지도 포함시키고 있다.(Super Clean Room)

 

이전글  BCR(biological clean room)이란?
다음글  공기조화 열원방식의 종류와 특징 및 선정시 유의 사항